Написать рефераты, курсовые и дипломы самостоятельно. Антиплагиат.
Студенточка.ru: на главную страницу. Написать самостоятельно рефераты, курсовые, дипломы в кратчайшие сроки
Рефераты, курсовые, дипломные работы студентов: научиться писать самостоятельно.
Контакты Образцы работ Бесплатные материалы
Консультации Специальности Банк рефератов
Карта сайта Статьи Подбор литературы
Научим писать рефераты, курсовые и дипломы.


подбор литературы периодические источники литература по предмету

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство


Похожие книги   Готовые работы

Год выпуска: 2016
Автор: В. Ю. Киреев
Издательство: Интеллект
Страниц: 328
ISBN: 978-5-91559-215-4
Описание
 В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а...

Похожие книги

  1. В.Т. Васько, А.И. Загробский, З.М. Нечипорук. Технологии возделывания зерновых культур в Нечерноземной зоне России. – М.: Профи-информ, 2004. – 128 с.
  2. В.Г. Зинченко, В.Г. Зусман, З.И. Кирнозе, Г.П. Рябов. Словарь по межкультурной коммуникации. Понятия и персоналии. – М.: Флинта, 2010. – 136 с.
  3. В.Е. Борисенко, А.И. Воробьева, А.Л. Данилюк, Е.А. Уткина. Наноэлектроника. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2012. – 368 с.
  4. Е.Н. Трембач, Г.А. Мелетьев, А.Г. Схиртладзе, В.П. Борискин, А.И. Пулбере. Резание материалов. – М.: ООО "ТНТ", 2012. – 512 с.
  5. А.М. Бандурка, В.А. Тюрина, Е.И. Федоренко. Основы психологии и педагогики. – Ростов-на-Дону: Феникс, 2009. – 256 с.
  6. В.П. Невежин, С.И. Кружилов, Ю.В. Невежин. Исследование операций и принятие решений в экономике. – М.: Форум, 2012. – 400 с.
  7. В.С. Квагинидзе, Г.И. Козовой, Ф.А. Чакветадзе, Ю.А. Антонов, В.Б. Корецкий. Металлоконструкции горных машин. Конструкции, эксплуатация, расчет. – М.: Горная книга, 2011. – 392 с.
  8. И.А. Белов, В.А. Шеленшкевич, Л.И. Шуб. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. – М.: Политехника, 1991. – 288 с.
  9. В.А. Самкова, Н.И. Романова. Окружающий мир. 1 класс. Методические рекомендации. К учебнику В. А. Самковой, Н. И Романовой. – М.: Русское слово - учебник, 2013. – 120 с.
  10. В.П. Корячко, А.И. Таганов. Процессы и задачи управления проектами информационных систем. Учебное пособие. – М.: Горячая Линия - Телеком, 2014. – 376 с.
  11. В.Н. Заплатин, Ю.И. Сапожников, А.В. Дубов, В.С. Новоселов. Лабораторный практикум по материаловедению в машиностроении и металлообработке. Учебное пособие. – М.: Academia, 2014. – 240 с.
  12. В.А. Кунянский, М.И. Цукерман. Волейбольный судья. Учебное пособие. – М.: Дивизион, 2014. – 192 с.
  13. Лебедько В., Искрин М., Вельга И. Архетипическое исследование Рун Старшего Футарка. Лебедько В., Искрин М., Вельга И. – М.: Золотое Сечение, 2016. – 252 с.
  14. В.К. Пестис, Н.И. Кривцов, В.И. Лебедев, Н.С. Медвецкий. Пчеловодство. Учебное пособие. – М.: Новое знание, Инфра-М, 2012. – 480 с.
  15. В.Н. Заплатин, Ю.И. Сапожников, А.В. Дубов, Е.М. Духнеев. Лабораторный практикум по материаловедению в машиностроении и металлобработке. Учебное пособие. – М.: Academia, 2013. – 240 с.
  16. В.М. Трофимов, А.И. Сергеев. Терапевтические и хирургические аспекты заболеваний внутренних органов. Учебное пособие. – М.: СпецЛит, 2018. – 272 с.
  17. В.М. Дацун, Е.И. Першина, О.А. Рязанова, В.М. Позняковский. Атлас аннотированный. Нерыбные объекты водного промысла. Учебно-справочное пособие. – СПб.: Лань, 2017. – 232 с.

Посмотреть другие результаты поиска

Образцы работ

Тема и предметТип и объем работы
Теория государства и права
Теория государства и права 		Реферат
16 стр.
Инновационный процесс и его основные направления
Инновационный менеджмент 		Курсовая работа
46 стр.
Применение права
Теория государства и права 		Реферат
26 стр.
Миграционная политика в США, Западной Европе и Японии
Банковское и биржевое дело 		Диплом
50 стр.

Искать другие темы


Задайте свой вопрос по вашей теме

Гладышева Марина Михайловна

marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Контакты
marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Поделиться
Мы в социальных сетях
Реклама



Отзывы
Елена (Ноябрьск)
Здравствуйте, Ирина! :) Я защитилась на 5! Хочу Вас поблагодарить! Спасибо большое! :)