Год выпуска: 2016 Автор: И. В. Иванов, П. А. Лучников, А. С. Сигов, А. П. Суржиков Издательство: Юрайт Страниц: 270 ISBN: 978-5-9916-7153-8
Описание
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) - электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающимся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств" и "Электронные приборы", может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
