Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) "Микросистемная техника" и "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.
Виталий, я немного вас разрекламировала и дала ваш адрес некоторым студентам (е-мэил), извините, если я неправильно сделала, но если вы не против, то выложу ваш адрес на нашем студенческом сайте, у многих проблемы с электротехникой.