Написать рефераты, курсовые и дипломы самостоятельно.  Антиплагиат.
Студенточка.ru: на главную страницу. Написать самостоятельно рефераты, курсовые, дипломы  в кратчайшие сроки
Рефераты, курсовые, дипломные работы студентов: научиться писать  самостоятельно.
Контакты Образцы работ Бесплатные материалы
Консультации Специальности Банк рефератов
Карта сайта Статьи Подбор литературы
Научим писать рефераты, курсовые и дипломы.


подбор литературы периодические источники литература по предмету

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения



Год выпуска: 2018
Автор: Е .В. Берлин,В. Ю. Григорьев,Л. А. Сейдман
Издательство: Техносфера
Страниц: 464
ISBN: 978-5-94836-519-0
Описание
За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников.Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.


Похожие книги

  1. И.А. Лазарев, Г.С. Хижа, К.И. Лазарев. Новая информационная экономика и сетевые механизмы ее развития. – М.: Дашков и Ко, 2010. – 242 с.
  2. Б.Н. Шапуков. Задачи по группам Ли и их приложениям. – М.: НИЦ "Регулярная и хаотическая динамика", 2002. – 256 с.
  3. И.Е. Митина. Русские пословицы и поговорки и их английские аналоги / English Proverbs and Sayings and Their Russian Equivalents. – М.: КАРО, 2006. – 336 с.
  4. А.И. Иванченко. Русские пословицы и их французские аналоги / Proverbes Francais et Equivalences en Russe. – М.: КАРО, 2002. – 128 с.
  5. В.И. Безяев. Пространства Соболева и их приложения. – М.: Издательство Российского Университета дружбы народов, 2007. – 84 с.
  6. Э.И. Асиновский, А.В. Кириллин, В.Л. Низовский. Стабилизированные электрические дуги и их применение в теплофизическом эксперименте. – М.: ФИЗМАТЛИТ, 2008. – 264 с.
  7. Н.Соловьев, А.В. Петров, П.П. Шибанов. Н. Соловьев. Редкие книги. Каталог 105. А. В. Петров. Библиотека А. В. Петрова. Собрание книг, изданных в царствование Петра Великого. П. П. Шибанов. Desiderata русского библиофила. Редчайшие книги и их современная расценка. – М.: В. Секачев, Мамонт, 2011. – 134 с.
  8. М.С. Соминский. Полупроводники и их применение в технике. – СпБ.: Лениздат, 1958. – 150 с.
  9. И.Г. Бурова, Ю.К. Демьянович. Минимальные сплайны и их приложения. – М.: Издательство СПбГУ, 2010. – 364 с.
  10. Г.В. Алексеев, И.И. Бриденко, В.А. Головацкий, Е.И. Верболоз. Компьютерные технологии при проектировании и эксплуатации технологического оборудования. – М.: ГИОРД, 2012. – 256 с.
  11. В.С. Волков. Электроника и электрооборудование транспортных и транспортно-технологических машин и оборудования. – М.: Academia, 2013. – 384 с.
  12. И.Г. Конопельцев, А.Ф. Сапожников. Биологические свойства гормонов и их применение в ветеринарии. – СПб.: Лань, 2013. – 192 с.
  13. Иван Белогорохов. Полупроводниковые материалы 21 века из фталоцианинов и нанокремния. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2014. – 172 с.
  14. И.С. Иванов. Расчет и проектирование технологической оснастки в машиностроении. Учебное пособие. – М.: Инфра-М, 2015. – 208 с.
  15. Электроника и электрооборудование транспортных и транспортно-технологических машин и оборудования. – М.: , . –  с.
  16. Продукты органического синтеза и их применение. – М.: , . –  с.
  17. Е .В.Берлин,В.Ю. Григорьев,Л.А. Сейдман. Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения. – М.: Техносфера, 2018. – 464 с.

Образцы работ

Тема и предметТип и объем работы
Теории мотивации и их применение в российских предприятиях
Управление персоналом
Диплом
66 стр.
Место рекламной службы в структуре коммерческой организации
Реклама
Диплом
96 стр.
Декабристы и их влияние на русское общество 1 половины 19 века
История Отечества
Реферат
18 стр.
Гражданско-правовая ответственность за вред, причинённый источником повышенной опасности в соответствии с российским законодательством
Химия и технология эластомерных материалов
Другое
70 стр.



Задайте свой вопрос по вашей теме

Гладышева Марина Михайловна

marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Контакты
marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Поделиться
Мы в социальных сетях
Реклама



Отзывы
Андрей (Санкт-Петербург)
Здравствуйте Ирина! Спасибо за раздаточный материал. Буду готовиться к защите. Вам так же всего наилучшего !!!