Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие Год выпуска: 2014Автор: С. А. Гаврилов, А. Н. БеловИздательство: ДРОФАСтраниц: 240ISBN: 978-5-369-01299-4, 978-5-16-009298-0, 978-5-16-100019-9Описание Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.
Похожие книги
Н.В. Балкина, З.И. Сироткина. Хочу стать переводчиком. Учебное пособие. – М.: Издательство Российского Университета дружбы народов, 2002. – 140 с. В.А. Галперин, Е.В. Данилкин, А.И. Мочалов. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2010. – 288 с. Е.Н. Горячева, Е.В. Конеева, А.И. Малахова, Л.П. Морозова. Инновационные технологии воспитания и развития детей от 6 месяцев до 7 лет. – М.: Прометей, 2012. – 228 с. Ю.В. Цвелев, Е.Ф. Кира, И.В. Берлев, Д.И. Гайворонских. Терминология в акушерстве, гинекологии и перинатологии. Учебное пособие. – М.: Н-Л, 2012. – 288 с. В.А. Тыщенк, И.А. Агафонов, А.А. Пимерзин, Н.Н. Томина, С.А. Антонов, Е.О. Жилкина. Технология производства смазочных масел и спецпродуктов. Учебное пособие. – М.: Ленанд, 2014. – 240 с. А.В. Бриллиантов, С.И. Курганов. Уголовно-исполнительное право в вопросах, ответах и схемах. Учебное пособие. – М.: Проспект, 2015. – 224 с. И.А. Лыкасова, В.А. Крыгин, И.В. Безина, И.А. Солянская. Ветеринарно-санитарная экспертиза сырья и продуктов животного и растительного происхождения. Лабораторный практикум. Учебное пособие. – СПб.: Лань, 2015. – 304 с. В.Н. Ковнир, И.В. Чурзина. Экономика в терминах, понятиях и представлениях. Учебное пособие. – М.: Университетская книга, 2015. – 148 с. А.В. Бриллиантов, С.И. Курганов. Уголовно-исполнительное право в вопросах, ответах и схемах. Учебное пособие. – М.: Проспект, 2016. – 224 с. Ю.В. Хрущев, К.И. Заподовников, А.Ю. Юшков. Электроэнергетические системы и сети. Электромеханические переходные процессы. Учебное пособие. – М.: Юрайт, 2016. – 154 с. В.Н. Карпенко, И.А .Карпенко, Ж.Багана. Хореографическое искусство и балетмейстер. Учебное пособие. – М.: Инфра-М, 2015. – 192 с. Ю.П. Анисимов, В.П. Бычков, И.В. Куксова. Менеджмент инноваций. Учебное пособие. – М.: Инфра-М, 2015. – 148 с. Ю.В. Хрущев, К.И. Заподовников, А.Ю. Юшков. Электроэнергетические системы и сети. Электромеханические переходные процессы. Учебное пособие. – М.: Юрайт, 2017. – 154 с. А.В. Бриллиантов, С.И. Курганов. Уголовно-исполнительное право в вопросах, ответах и схемах. Учебное пособие. – М.: Проспект, 2018. – 224 с. В.Е. Эминов, И.М. Мацкевич, В.Н. Орлов. Криминология в схемах и определениях. Учебное пособие. – М.: Норма,Инфра-М, 2017. – 128 с. Г.Г. Лутфуллина, В.А. Сысоев, И.Ш. Абдуллин. Технология меха. Специальные главы. Учебное пособие. – М.: Юрайт, 2018. – 190 с. Г.Г. Лутфуллина, В.А. Сысоев, И.Ш. Абдуллин. Технология меха. Специальные главы. Учебное пособие. – М.: Юрайт, 2018. – 190 с. Образцы работ
Задайте свой вопрос по вашей теме
Контакты
Поделиться
Мы в социальных сетях
Реклама
Отзывы
АННА, 22.05 Здравствуйте, Марина. 20 мая у нас была защита дипломов. Мы с Таней защитились. У меня 5, у неё 4. Все довольны, спасибо Вам большое за помощь. Если вдруг надумаем учиться дальше, обязательно к Вам обратимся. До свидания, спасибо за плодотворное сотрудничество.
