Написать рефераты, курсовые и дипломы самостоятельно. Антиплагиат.
Студенточка.ru: на главную страницу. Написать самостоятельно рефераты, курсовые, дипломы в кратчайшие сроки
Рефераты, курсовые, дипломные работы студентов: научиться писать самостоятельно.
Контакты Образцы работ Бесплатные материалы
Консультации Специальности Банк рефератов
Карта сайта Статьи Подбор литературы
Научим писать рефераты, курсовые и дипломы.


подбор литературы периодические источники литература по предмету

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы


Похожие книги   Готовые работы

Год выпуска: 2006
Автор: В. Киреев, А. Столяров
Издательство: Техносфера
Страниц: 192
ISBN: 5-94836-039-3
Описание
 Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Похожие книги

  1. С.А. Лосев, С.Я. Уманский, И.Т. Якубов. Физико-химические процессы в газовой динамике. Справочник в 3 томах. Том 1. Динамика физико-химических процессов в газе и плазме. – М.: Издательство МГУ, 1995. – 352 с.
  2. К.М. Тагиров. Эксплуатация нефтяных и газовых скважин. – М.: Академия, 2012. – 336 с.
  3. В.Киреев, А.Столяров. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. – М.: Техносфера, 2006. – 192 с.
  4. Н.И. Минько, В.В. Строкова, И.В. Жерновский, В.М. Нарцев. Методы получения и свойства нанообъектов. – М.: Флинта, Наука, 2009. – 168 с.
  5. А.А. Раскин, В.К. Прокофьева. Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 1. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2010. – 168 с.
  6. Ю.Д. Чистяков, Ю.П. Райнова. Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. В 2 томах. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2010. – 392 с.
  7. Радиационная химия полимеров. – М.: Наука, 1973. – 452 с.
  8. А.В. Мохов, П.М. Карташов, О.А. Богатиков. Луна под микроскопом. – М.: Наука, 2007. – 128 с.
  9. Физико-химические процессы в газовой динамике. Справочник. Том 1. Динамика физико-химических процессов в газе и плазме. – М.: Научный мир, 2007. – 400 с.
  10. В.М. Жданов, В.С. Галкин, О.А. Гордеев, И.А. Соколова. Физико-химические процессы в газовой динамике. Справочник. Том 3. Модели процессов молекулярного переноса в физико-химической газодинамике. – М.: ФИЗМАТЛИТ, 2013. – 284 с.
  11. Сергей Лановецкий und Владимир Пойлов. Технология получения чистых веществ. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2011. – 156 с.
  12. Станислав Туленин, Лариса Маскаева und Вячеслав Марков. Исследование химически осажденных тонких пленок CuInOxS(Se)1?x. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2013. – 152 с.
  13. Маариф Джафаров und Насиров Эльшан. Электронные свойства наноструктированных материалов соединений А2В6. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2013. – 192 с.
  14. Анатолий Васильченко. Новые технологии в строительстве нефтяных и газовых скважин. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2012. – 112 с.
  15. Андрей Тетюев. Повреждения и следы выстрела из газового ствольного оружия. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2011. – 156 с.
  16. Р.А. Хмельницкий, Н.Х. Талипов, Г.В. Чучева. Синтетический алмаз для электроники и оптики. – М.: ИКАР, 2017. – 244 с.
  17. Кафаров Виктор Вячеславович, Дорохов Игорь Николаевич, Кольцова Элеонора Моисеевна. Системный анализ процессов химической технологии: массовая кристаллизация. Монография. – М.: , 2018. – 368 с.

Посмотреть другие результаты поиска

Образцы работ

Тема и предметТип и объем работы
Базы данных в консалтинге
Информационные технологии управления 		Реферат
20 стр.
Кожаная обувь
Технологии, материаловедение, транспорт 		Курсовая работа
21 стр.
Информационные технологии в туризме
Информационные технологии управления 		Курсовая работа
20 стр.
Банковское обслуживание физ. лиц с использованием информационных технологий
Информационные технологии 		Диплом
81 стр.

Искать другие темы


Задайте свой вопрос по вашей теме

Гладышева Марина Михайловна

marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Контакты
marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Поделиться
Мы в социальных сетях
Реклама



Отзывы
Мария
Лилия, добрый день. Благодарю Вас за консультацию.