Год выпуска: 2014 Автор: С. А. Гаврилов, А. Н. Белов Издательство: Юрайт Страниц: 258 ISBN: 978-5-9916-4292-7 , 978-5-9692-1556-6
Описание
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Для студентов, обучающихся по инженерно-техническим направлениям и специальностям, а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
Марина, вчера защитила диплом после вашего сопровождения!!! Хочу вам сказать огромнейшее спасибо за проделанную работу!!! Я так же как и прежде буду рекомендовать вас своим друзьям. Спасибо еще раз. До свидания ))