Год выпуска: 2012 Автор: Parvej Ahmad Alvi Издательство: LAP Lambert Academic Publishing Страниц: 124 ISBN: 9783659125478
Описание
This book is designed as an introduction for the graduate students and researchers who want to understand the trends of MEMS materials and devices. Particularly, this book describes the experimental view of the fabrication of a thin membrane over a conical V-shaped cavity using front side lateral etching technology that proposes a novel front side etching fabrication process for silicon based piezoresistive micro- pressure sensor. As far as the fabrication process is concerned, this technique successfully accomplished a front side etching process laterally to replace the conventional back-side bulk micro-machining. This novel structure of micro pressure sensor can achieve the distinguishing features of the chip size reduction and fabrication costs degradation. This book covers the principles, tools and methods for determining the reliability of micro-electro-mechanical (MEMS)materials, components and devices. Hopefully, this book will be very beneficial to the students of MEMS and...
Спасибо Вам большое за консультацию по Исследованию систем управления. Я получила ее уже давно, но, к сожалению, возможность написать Вам письмо у меня появилась только сегодня. Работа после вашего сопровождения действительно очень хорошая, даже отличная. Хотя, я думаю, Вам мои комплименты особенно ни к чему, Вы и так прекрасно знаете, что пишете замечательно. :) Работа после вашего сопровождения действительно оказалась "немножко" больше, скажем откровенно в 3 раза больше. :) Мне, во-первых, становится как-то неловко из-за цены, ведь оплата вроде за страницы, хотя я и понимаю, что для Вас это не имеет особого значения, но все же. Во-вторых, мне очень жалко будет резать ее, буду делать это скрипя сердцем. Хотя на самом деле, я смогу еще не раз использовать куски данной работы и для других предметов, так как данная тема изучается у нас достаточно подробно. Так что спасибо Вам огромное, еще раз, за эту работу, за то, что Вы взялись ее сопровождать. Я думаю, если в скором времени у меня опять начнутся проблемы со временем, я с удовольствием опять обращусь к Вам, точнее в Вашу организацию с новым заказом, но уже не буду претендовать на Ваше время. :)