Год выпуска: 2013 Автор: Александр Леньшин Издательство: LAP Lambert Academic Publishing Страниц: 224 ISBN: 9783659416835
Описание
Пористый кремний интересен своими сенсорными, каталитическими и фотолюминесцентными свойствами, перспективными для практического применения. Однако это сложная, многокомпонентная система, состав и свойства которой могут сильно меняться в зависимости от технологии получения и в процессе взаимодействия с окружающей средой. Он не всегда является наилучшим материалом для указанных выше применений, однако возможность интеграции с элементами электроники в едином устройстве предоставляет ему существенные преимущества по сравнению с другими технологическими решениями. Кроме того, варьирование параметрами электрохимического травления и последующей обработкой, нанесение маскирующих слоев позволяют управлять функциональными характеристиками пористого слоя в целях оптимизации его практического применения в той или иной области. В книге обсуждаются закономерности формирования, особенности атомного и электронно-энергетического строения, фазового состава, оптические и сенсорные свойства различных...