Год выпуска: 2011 Автор: Алексей Можаев Издательство: LAP Lambert Academic Publishing Страниц: 148 ISBN: 9783843315876 Описание Разработана компьютерная модель процессов формирования трехмерных пористых кластеров в полупроводниковых кристаллах кремния, учитывающая процессы на границе, участие реагентов в химических реакциях, изменение внутреннего потенциала со временем в ходе роста кластеров, а также доставку заряженных компонентов из глубины кристалла. Данная компьютерная модель позволяет лучше уяснить динамику формирования пор, визуально отобразить процесс формирования их структуры и наиболее интересные динамические объекты моделирования, проанализировать зависимость характера пористой структуры от параметров процесса порообразования, а также позволяет проанализировать численные характеристики кластеров, такие как средняя глубина пор, объём структуры, площадь поверхности кластера, фрактальная, корреляционная и массовая фрактальная размерности. |