Год выпуска: 2013 Автор: Елена Севрюкова Издательство: LAP Lambert Academic Publishing Страниц: 180 ISBN: 9783659479892
Описание
Книга является монографией по чистым помещениям электронной промышленности. В ней рассмотрен комплекс задач обеспечения чисто-ты от теоретических основ техники чистых помещений и контроля мо-лекулярных аэрозольных загрязнений до практической реализации. Рассматриваются методики анализа молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники. Рассмотрен метод улавливания и идентификации органических соединений для снижения уровня загрязнения частицами и поддержания химически чистой атмосферы, в частности, приведен детальный анализ источников химических загрязнений воздуха. В книге приводятся примеры новых эффективных систем клима-тизации чистых помещений электронной промышленности. Некоторые из рассматриваемых технических решений применимы в сходных усло-виях и в других отраслях промышленности. Книга учитывает опыт, накопленный специалистами и организа-циями различных стран.
Добрый день Юлия. Я работу получила, спасибо большое (мне работа очень понравилась, вы гений :) ) Напишу вам результат после проверки ее моим руководителем. Спасибо.