Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Год выпуска: 2007 Автор: М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева Издательство: Бином. Лаборатория знаний Страниц: 400 ISBN: 978-5-94774-336-4, 978-5-94774-337-1 Описание Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Похожие книги
Владимир Максаковский, Наталья Петрова. Готовимся к экзаменам по географии. В 2 частях. Часть 1. Физическая и экономическая география мира. – М.: Айрис-Пресс, Рольф, 1998. – 224 с. М.А. Королев, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2007. – 400 с. М.А. Королев, Т.Ю. Крупкина, М.Г. Путря, В.И. Шевяков. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2009. – 424 с. В.И. Моисеев. Логика Открытого Синтеза. В 2 томах. Том 1. Структура, Природа и Душа (комплект из 2 книг). – М.: Мiръ, 2010. – 1488 с. Н.В. Харитонова, Е.В. Сизова, Е.И. Стойка. Окружающий мир. 4 класс. В 2 частях. Часть 2. Человек и человечество. – М.: Баласс, 2014. – с. В.Ю. Новиков, А.И. Ильянков. Технология машиностроения. Учебник. В 2 частях. Часть 2. – М.: Academia, 2014. – 432 с. Григорий Чигирь, Анатолий Белоус und Аркадий Турцевич. Методы повышения надёжности микросхем на основе тестовых структур. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2012. – 248 с. Е.М. Домогацких, Н.И. Алексеевский. География. Материки и океаны. 7 класс. Учебник. В 2 частях. Часть 1. Планета, на которой мы живем. Африка. – М.: Русское слово - учебник, 2015. – 240 с. Е.М. Домогацких, Н.И. Алексеевский. География. Материки и океаны. 7 класс. Учебник. В 2 частях. Часть 2. Материки планеты Земля. Австралия, Антарктида, Южная Америка, Северная Америка, Евразия. – М.: Русское слово - учебник, 2015. – 296 с. В.И. Лыженко. Литературное чтение. 3 класс. Тесты. В 2 частях. К учебнику Л. Ф. Климановой, В. Г. Горецкого, М. В. Головановой и др. (комплект из 2 книг). – М.: АРКТИ, Наша школа, 2014. – 108 с. В.И. Лыженко. Литературное чтение. 4 класс. Тесты. В 2 частях. К учебнику Л. Ф. Климановой, В. Г. Горецкого, М. В. Головановой и др. (комплект из 2 книг). – М.: Наша школа, АРКТИ, 2014. – 106 с. М.Я. Дворкина. Теория и история библиотечного дела. В 2 частях (комплект из 2 книг). – М.: Пашков дом, 2015. – 916 с. Е.М. Домогацких, Н.И. Алексеевский. География. Материки и океаны. 7 класс. Учебник. В 2 частях. Часть 2. Материки планеты Земля. Австралия, Антарктида, Южная Америка, Северная Америка, Евразия. – М.: Русское слово - учебник, 2017. – 296 с. Е.М. Домогацких, Н.И. Алексеевский. География. Экономическая и социальная география мира. 10-11 класс. Базовый уровень. В 2 частях. Часть 2. Региональная характеристика мира. – М.: Русское слово - учебник, 2017. – 200 с. Г.И. Мелихова. Русский язык. 1 класс. Рабочая тетрадь. В 2 частях. Часть 1. К учебнику Л. В. Кибиревой, О. А. Клейнфельд, Г. И. Мелиховой. – М.: Русское слово - учебник, 2018. – 48 с. Г.И. Мелихова. Русский язык. 2 класс. Рабочая тетрадь к учебнику Л. В. Кибиревой, О. А. Клейнфельд, Г. И. Мелиховой. В 2 частях. Часть 1. – М.: Русское слово - учебник, 2018. – 48 с. Г.И. Мелихова. Русский язык. 2 класс. Рабочая тетрадь к учебнику Л. В. Кибиревой, О. А. Клейнфельд, Г. И. Мелиховой. В 2 частях. Часть 2. – М.: Русское слово - учебник, 2018. – 48 с. Образцы работ
Задайте свой вопрос по вашей теме
Контакты
Поделиться
Мы в социальных сетях
Реклама
Отзывы
Роман, 27.04 Отлично, спасибо большое