Год выпуска: 2016 Автор: Е. Н. Ивашов, П. А. Лучников, А. С. Сигов, С. В. Степанчиков Издательство: Юрайт Страниц: 370 ISBN: 978-5-9916-6414-1
Описание
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники - вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделения и др. Соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. Учебник рассчитан на широкий круг студенческой аудитории, занимающейся изучением оборудования электронной техники, может быть использован...
