Написать рефераты, курсовые и дипломы самостоятельно.  Антиплагиат.
Студенточка.ru: на главную страницу. Написать самостоятельно рефераты, курсовые, дипломы  в кратчайшие сроки
Рефераты, курсовые, дипломные работы студентов: научиться писать  самостоятельно.
Контакты Образцы работ Бесплатные материалы
Консультации Специальности Банк рефератов
Карта сайта Статьи Подбор литературы
Научим писать рефераты, курсовые и дипломы.


подбор литературы периодические источники литература по предмету

Диффузия примесей в полупроводниках



Год выпуска: 2011
Автор: Артём Криворучко und Олег Александров
Издательство: LAP Lambert Academic Publishing
Страниц: 124
ISBN: 9783843314565
Описание
В современном полупроводниковом производстве технологические процессы характеризуются малыми длинами и короткими временами, что зачастую приводит к возникновению неравновесных условий, таких как нарушение локальной электронейтральности (ЭН), отклонение от равновесия в квазихимических реакциях между примесями, дефектами и их комплексами, образование неравновесных концентраций собственных точечных дефектов (СТД), контролирующих диффузию. В работе представлены результаты исследования совместной диффузии ионизованных примесей при нарушении локальной ЭН; диффузии примеси в условиях нарушения равновесия по СТД; геттерирования загрязняющей примеси однородно и неоднородно легированными слоями, а также геттерирования примеси, диффундирующей по механизму вытеснения. Авторами подробно рассмотрены существующие математические модели диффузии и методы решения диффузионных уравнений. Книга будет полезна как студентам и аспирантам так и профессионалам в области полупроводникового производства при...


Похожие книги

  1. М.А. Королев, Т.Ю. Крупкина, М.Г. Путря, В.И. Шевяков. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2009. – 424 с.
  2. В.Е. Борисенко, А.И. Воробьева, Е.А. Уткина. Наноэлектроника. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2009. – 224 с.
  3. К.В. Шалимова. Физика полупроводников. – СПб.: Лань, 2010. – 400 с.
  4. В.А. Киселев, Б.В. Новиков, А.Е. Чередниченко. Экситонная спектроскопия приповерхностной области полупроводников. – СпБ.: Издательство Санкт-Петербургского университета, 2003. – 244 с.
  5. Б.И. Самолюбов. Плотностные течения и диффузия примесей. – М.: ЛКИ, 2007. – 352 с.
  6. В.И. Кляцкин. Стохастические уравнения. Теория и ее приложения к акустике, гидродинамике и радиофизике. В 2 томах. Том 2. Когерентные явления в стохастических динамических системах. – М.: ФИЗМАТЛИТ, 2008. – 344 с.
  7. Г.Г. Зегря, В.И. Перель. Основы физики полупроводников. – М.: ФИЗМАТЛИТ, 2009. – 336 с.
  8. В.И. Наац, И.Э. Наац. Математические модели и численные методы в задачах экологического мониторинга атмосферы. – М.: ФИЗМАТЛИТ, 2010. – 328 с.
  9. В.Н. Колодежнов. Безразмерные комплексы и критерии подобия в гидроаэромеханике. Справочник. – М.: ВГПУ, 2011. – 580 с.
  10. Электронные свойства дислокации в полупроводниках. – М.: Едиториал УРСС, 2000. – 320 с.
  11. В.Н. Николаевский. В. Н. Николаевский. Собрание трудов. Геомеханика. Том 1. Разрушение и дилатансия. Нефть и газ. – М.: Институт компьютерных исследований, 2010. – 640 с.
  12. Артём Криворучко und Олег Александров. Диффузия примесей в полупроводниках. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2011. – 124 с.
  13. Алексей Гапонцев und Владимир Кондратьев. Диффузия водорода в металлах и сплавах с кристаллическим беспорядком. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2013. – 112 с.
  14. Серегин Павел, Бордовский Геннадий und Марченко Алла. Мессбауэровские U-минус центры в полупроводниках и сверхпроводниках. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2011. – 304 с.
  15. Вачаган Аванесян. Фотоиндуцированная диэлектрическая поляризация в полупроводниках. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2012. – 132 с.
  16. Андрей Нестеров. Сингулярные возмущения и моделирование задач геоэкологии. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2014. – 236 с.
  17. Д.А. Орешина, П.В. Батанова, И.В. Забаев, Е.Л. Павлюткина. "Партнерский приход". Сотрудничество священников и мирян в развитии социальной деятельности в приходах ПРЦ в начале ХХI века. – М.: Православный Свято-Тихоновский гуманитарный университет, 2018. – 320 с.

Образцы работ

Тема и предметТип и объем работы
Сравнительная оценка методов математического моделирования в управлении производством
Математические методы в экономике
Реферат
18 стр.
Функции туроператора и турагента в мире и в России
Техника и организация коммерческой рекламы в туризме
Реферат
18 стр.
Банковская система России: современные проблемы и перспективы развития
Математические методы в экономике
Диплом
91 стр.
Преддипломная практика
Техника и организация коммерческой рекламы в туризме
Другое
30 стр.



Задайте свой вопрос по вашей теме

Гладышева Марина Михайловна

marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Контакты
marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Поделиться
Мы в социальных сетях
Реклама



Отзывы
Анна
Спасибо вам за диплом, вы мне очень помогли.