Написать рефераты, курсовые и дипломы самостоятельно. Антиплагиат.
Студенточка.ru: на главную страницу. Написать самостоятельно рефераты, курсовые, дипломы в кратчайшие сроки
Рефераты, курсовые, дипломные работы студентов: научиться писать самостоятельно.
Контакты Образцы работ Бесплатные материалы
Консультации Специальности Банк рефератов
Карта сайта Статьи Подбор литературы
Научим писать рефераты, курсовые и дипломы.


подбор литературы периодические источники литература по предмету

ЭУФ литография на длине волны 13,5 нм


Похожие книги   Готовые работы

Год выпуска: 2011
Автор: Алексей Пестов
Издательство: LAP Lambert Academic Publishing
Страниц: 160
ISBN: 9783844352924
Описание
 Проекционная литография с длиной волны 193 нм в настоящее время является ключевой технологией при производстве элементов микроэлектроники с помощью которой осуществляется "запись" топологического рисунка на фоторезисте с последующим проявлением. Благодаря применению различных методов улучшения изображений разрешение литографических установок уже превзошло дифракционный предел и достигает 32 нм. Ценой этого является ограниченный набор топологий, снижение производительности и дороговизна литографического процесса. Экономически выгодное освоение технологических норм 10-30 нм связывается с литографией экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) диапазона, в котором основой оптических элементов являются многослойные интерференционные структуры (МИС). Несмотря на успехи, подтвердившие перспективы ЭУФ литографии для формирования наноструктур, на пути к коммерческому литографу на 13,5 нм предстоит решить ещё ряд научных и технологических проблем. В данной работе предлагаются методы диагностики и...

Похожие книги

  1. Уголовно-исполнительный кодекс Российской Федерации (на 25.01.13). – М.: , 2013. – 1 с.
  2. Уголовный кодекс Российской Федерации (на 25.01.13). – М.: , 2013. – 1 с.
  3. Уголовно-исполнительный кодекс Российской Федерации (на 25.01.13). – М.: КноРус, 2013. – 1 с.
  4. Водный кодекс Российской Федерации (на 25.01.13). – М.: , 2013. – 1 с.
  5. Арбитражный процессуальный кодекс Российской Федерации (на 25.01.13). – М.: КноРус, 2013. – 1 с.
  6. Ольга Юрченко. Развиваем логику (набор из 20 карточек + маркер). – СПб.: Речь, 2012. – 40 с.
  7. Пол Филдер. Все о работе на длинных вожжах. – М.: Аквариум-Принт, 2013. – 24 с.
  8. С.М. Меньшиков, Л.А. Клименко. Длинные волны в экономике. Когда общество меняет кожу. – М.: Ленанд, 2014. – 272 с.
  9. А.С. Чинкин, М.Н. Чинкин, Ф.Р. Зотова. Основы подготовки бегунов на длинные дистанции. Методическое пособие. – М.: Физическая культура, 2008. – 128 с.
  10. Иван Белогорохов. Оптические и электрические свойства фталоцианиновых полупроводников. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2010. – 148 с.
  11. Алексей Пестов. ЭУФ литография на длине волны 13,5 нм. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2011. – 160 с.
  12. Юрий Смирнов, Виктор Прокопенко und Андрей Яськов. Колориметрические системы на основе оптоэлектронных RGB-компонентов. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2014. – 172 с.
  13. Е.А.Чугунова, А.Р.Бурилов und М.А.Сазыкина. Бензофуроксаны. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2011. – 124 с.
  14. Ира Диденкулова. Накат длинных волн на плоский откос. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2012. – 260 с.
  15. Меньшиков С.М., Клименко Л.А. Длинные волны в экономике: Когда общество меняет кожу / Изд.стереотип. – М.: , 2016. –  с.
  16. С.М. Меньшиков, Л.А. Клименко. Длинные волны в экономике. Когда общество меняет кожу. – М.: Ленанд, 2016. – 288 с.
  17. Алексей Насретдинов. Буравчик на звуковых волнах. Что мы слышим, и как это звучит?. – М.: Бослен, 2014. – 208 с.

Посмотреть другие результаты поиска

Образцы работ

Тема и предметТип и объем работы
НДС
Налогообложение 		Диплом
144 стр.
Система косвенного налогообложения
Налогообложение 		Диплом
100 стр.
Маркетинг в сфере услуг на примере консалтинговой компании
Маркетинг 		Диплом
139 стр.
Маркетинг в сфере услуг
Маркетинг 		Диплом
74 стр.

Искать другие темы


Задайте свой вопрос по вашей теме

Гладышева Марина Михайловна

marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Контакты
marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Поделиться
Мы в социальных сетях
Реклама



Отзывы
Ярослава
Хотела Вам просто сказать спасибо за Ваши труды! Буду Вас рекомендовать своим друзьям и знакомым) Всего доброго!