Год выпуска: 2008 Автор: В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик Издательство: Академия Страниц: 400 ISBN: 978-5-7695-4227-5
Описание
Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.
Защита диплома прошла удачно, оценка "хорошо". К расчетам и выводам претензий не было, на все поставленные вопросы ответила прекрасно, но я имела глупость приложить приложение к диплому, совсем не учитывая того, что в ИП баланса нет, пришлось "выкручиваться", это единственный мой минус. Ирина, огромное Вам спасибо! Желаю Вам удачи, успеха в Вашей работе.