Металлизация ультрабольших интегральных схем Год выпуска: 2009Автор: Д. Г. Громов, А. И. Мочалов, А. Д. Сулимин, В. И. ШевяковИздательство: Бином. Лаборатория знанийСтраниц: 280ISBN: 978-5-94774-904-5Описание Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Похожие книги
В.В. Соловьев. Проектирование цифровых систем на основе программируемых логических интегральных схем. – М.: Горячая Линия - Телеком, 2001. – 636 с. Г.Г. Казеннов. Основы проектирования интегральных схем и систем. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2005. – 296 с. М.А. Королев, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2007. – 400 с. Д.Г. Громов, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин, В.И. Шевяков. Металлизация ультрабольших интегральных схем. – М.: Бином. Лаборатория знаний, 2009. – 280 с. Г.Хоуп. Проектирование цифровых вычислительных устройств на интегральных схемах. – М.: Мир, 1984. – 400 с. Физические основы надежности интегральных схем. – М.: Советское радио, 1976. – 320 с. Справочник по нелинейным схемам. Проектирование устройств на базе аналоговых функциональных модулей и интегральных схем. – М.: Мир, 1977. – 526 с. И.И. Абрамов. Лекции по моделированию элементов интегральных схем. – М.: НИЦ "Регулярная и хаотическая динамика", 2005. – 154 с. Жан М.Рабаи, Ананта Чандракасан, Боривож Николич. Цифровые интегральные схемы. Методология проектирования. – М.: Вильямс, 2007. – 912 с. В.Л. Шило. Линейные интегральные схемы. – М.: Советское радио, 1979. – 368 с. В.В. Соловьев, А.Климович. Логическое проектирование цифровых систем на основе программируемых логических интегральных схем. – М.: Горячая Линия - Телеком, 2008. – 376 с. А.В. Нефедов. Взаимозаменяемые интегральные схемы. Справочник. – М.: РадиоСофт, 2009. – 352 с. А.Б. Гребен. Проектирование аналоговых интегральных схем. – М.: Энергия, 1976. – 256 с. Д.Ферри, Л.Эйкерс, Э.Гринич. Электроника ультрабольших интегральных схем. – М.: Мир, 1991. – 328 с. В.Л. Шило. Линейные интегральные схемы. – М.: Советское радио, 1974. – 312 с. Применение интегральных схем (комплект из 2 книг). – М.: Мир, 1987. – 844 с. Марина Липай. Введение в технологию 3D TSV интегральных схем. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2014. – 68 с. Образцы работ
Задайте свой вопрос по вашей теме
Контакты
Поделиться
Мы в социальных сетях
Реклама
Отзывы
Вафа Мне все согласовали! Спасибо Вам огромное!!! Мне было очень приятно с Вами работать! Если моим знакомым понадобятся консультации по дипломным работам, я обязательно посоветую Вас!
