Написать рефераты, курсовые и дипломы самостоятельно.  Антиплагиат.
Студенточка.ru: на главную страницу. Написать самостоятельно рефераты, курсовые, дипломы  в кратчайшие сроки
Рефераты, курсовые, дипломные работы студентов: научиться писать  самостоятельно.
Контакты Образцы работ Бесплатные материалы
Консультации Специальности Банк рефератов
Карта сайта Статьи Подбор литературы
Научим писать рефераты, курсовые и дипломы.


подбор литературы периодические источники литература по предмету

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии



Год выпуска: 2010
Автор: Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман
Издательство: Техносфера
Страниц: 544
ISBN: 978-5-94836-222-9
Описание
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного...


Похожие книги

  1. В.И. Теличенко, А.А. Лапидус, А.А. Морозенко. Информационное моделирование технологий и бизнес-процессов в строительстве. – М.: Издательство Ассоциации строительных вузов, 2008. – 144 с.
  2. О.И. Шелухин, А.М. Тенякшев, А.В. Осин. Фрактальные процессы в телекоммуникациях. – М.: Радиотехника, 2003. – 480 с.
  3. А.Д. Кирнев, Г.В. Несветаев. Технология процессов в строительстве. Курсовое проектирование. – Ростов-на-Дону: Феникс, 2013. – 544 с.
  4. Л.Н. Самойлова, Г.Ю. Юрьева, А.В. Гирн. Технологические процессы в машиностроении. Лабораторный практикум. – СПб.: Лань, 2011. – 160 с.
  5. Андрей Синявский. Литературный процесс в России. – М.: РГГУ, 2003. – 432 с.
  6. В.В.Кувшинский. Автоматизация технологических процессов в машиностроение. – М.: , 2012. – 272 с.
  7. О.В. Михайлов, Р.А. Юсупов. Ионообменные процессы в тонкопленочных биополимер-иммобилизованных металлосульфидах. – М.: КомКнига, 2007. – 272 с.
  8. В.А. Астапенко, В.С. Лисица. Радиационные процессы в низкотемпературной плазме. – М.: МФТИ, 2008. – 156 с.
  9. Е.В. Берлин, Л.А. Сейдман. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. – М.: Техносфера, 2010. – 544 с.
  10. О.В. Бережнова, Л.Л. Тимофеева. Технология проектирования образовательного процесса в дошкольной организации. Методическое пособие. – М.: Цветной мир, 2014. – 144 с.
  11. Л.М. Титова, И.Ю. Алексанян, А.Х.-Х.Нугманов. Массообменные процессы в химической и пищевой технологии. Лабораторные и практические занятия. Учебное пособие. – СПб.: Лань, 2014. – 224 с.
  12. Валерий Вольпяс und Андрей Козырев. Моделирование ионно-плазменных процессов. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2011. – 208 с.
  13. Владимир Ветошкин und Петр Крылов. Вакуумно-плазменные процессы обработки кварца. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2011. – 144 с.
  14. О.В. Михайлов, Р.А. Юсупов. Ионообменные процессы в тонкопленочных биополимер-иммобилизованных металлосульфидах. – М.: Ленанд, 2016. – 272 с.
  15. И.В. Иванов, П.А. Лучников, А.С. Сигов, А.П. Суржиков. Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник. – М.: Юрайт, 2016. – 270 с.
  16. А.А. Ильин, В.В. Плихунов, Л.М. Петров, В.С. Спектор. Вакуумная ионно-плазменная обработка. Учебное пособие. – М.: Альфа-М, Инфра-М, 2016. – 160 с.
  17. И.В. Федосеев. Гидрокарбонильные процессы в технологии платиновых металлов. – М.: Руда и металлы, 2011. – 128 с.

Образцы работ

Тема и предметТип и объем работы
Государственное регулирование инновационных процессов в России
Экономика государств
Курсовая работа
21 стр.
Организация бюджетного процесса в Российской Федерации
Бюджетное право
Диплом
99 стр.
Приватизационные процессы в России. Особенности и недостатки
Макроэкономика
Диплом
70 стр.
Регулирование инновационных процессов в России
Инновационный менеджмент
Реферат
18 стр.



Задайте свой вопрос по вашей теме

Гладышева Марина Михайловна

marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Контакты
marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Поделиться
Мы в социальных сетях
Реклама



Отзывы
Сергей
Спасибо за маркетинговое исследование, всё прошло