Написать рефераты, курсовые и дипломы самостоятельно.  Антиплагиат.
Студенточка.ru: на главную страницу. Написать самостоятельно рефераты, курсовые, дипломы  в кратчайшие сроки
Рефераты, курсовые, дипломные работы студентов: научиться писать  самостоятельно.
Контакты Образцы работ Бесплатные материалы
Консультации Специальности Банк рефератов
Карта сайта Статьи Подбор литературы
Научим писать рефераты, курсовые и дипломы.


подбор литературы периодические источники литература по предмету

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением



Год выпуска: 2014
Автор: Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман
Издательство: Техносфера
Страниц: 260
ISBN: 978-5-94836-369-1
Описание
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых...


Похожие книги

  1. Современные методы управления объемными и поверхностными свойствами тонких пленок. – М.: Государственное издательство политической и научной литературы Литовской ССР, 1985. – 150 с.
  2. Н.В. Суйковская. Химические методы получения тонких прозрачных пленок. – М.: Химия, 1971. – 200 с.
  3. Х.Ясуда. Полимеризация в плазме. – М.: Мир, 1988. – 374 с.
  4. Поверхностные силы в тонких пленках и дисперсных системах. Сборник докладов 4-й конференции по поверхностным силам. – М.: Наука, 1972. – 326 с.
  5. А.Кузьмичев. Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. – М.: Аверс, 2008. – 246 с.
  6. Е.В. Берлин, Л.А. Сейдман. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. – М.: Техносфера, 2010. – 544 с.
  7. Е.М. Сова, В.М. Мухортов. Физика гетероэпитаксиальных пленок. Особенности получения наноразмерных пленок сложных оксидов. – М.: Содействие - XXI век, 2010. – 52 с.
  8. Л.Фелдман, Д.Майер. Основы анализа поверхности и тонких пленок. – М.: Мир, 1989. – 344 с.
  9. Е.В. Берлин, Л.А. Сейдман. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. – М.: Техносфера, 2014. – 260 с.
  10. С.М. Вишнякова, В.И. Вишняков. Интерференция в тонких пленках. Определение геометрических параметров поверхностей прозрачных тел интерференционным методом. – М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. – 32 с.
  11. Валерий Вольпяс und Андрей Козырев. Моделирование ионно-плазменных процессов. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2011. – 208 с.
  12. Ринат Ханбеков. Исследование пленок AlN и создание приборов на их основе. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2015. – 68 с.
  13. Нуржан Бейсенханов. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx. – М.: Palmarium Academic Publishing, 2012. – 308 с.
  14. Орудж Ахмедов und Мамед Гусейналиев. Исследование тонких пленок PbS по эллипсометрическим методом. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2014. – 56 с.
  15. Семен Башкиров und Валерий Гременок. Тонкие пленки SnS для приборов оптоэлектроники. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2013. – 108 с.
  16. Рафаил Юсупов, Зунг Тхе Динь und Саит Бахтеев. Оптимизация гидрохимического синтеза тонких пленок PbS. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2014. – 52 с.
  17. Валерий Лобода, Алла Салтыкова und Светлана Хурсенко. Физические свойства тонких нанокристаллических металлических пленок. – М.: LAP Lambert Academic Publishing, 2014. – 120 с.

Образцы работ

Тема и предметТип и объем работы
Каковы стратегии получения сверхнормативной прибыли
Менеджмент
Реферат
11 стр.
Показания обвиняемого, как доказательство в Уголовном процессе
Уголовный процесс
Диплом
80 стр.
Телосложение и реактивность
Психология
Реферат
13 стр.
Состояние и работоспособность студента в экзаменационный период
Медицина
Реферат
26 стр.



Задайте свой вопрос по вашей теме

Гладышева Марина Михайловна

marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Контакты
marina@studentochka.ru
+7 911 822-56-12
с 9 до 21 ч. по Москве.
Поделиться
Мы в социальных сетях
Реклама



Отзывы
Юлия, 06.02
Спасибо большое за все!Наконец-то рук-ль работу одобрил!!!Было очень приятно с вами работать!